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Phenomenological modeling of low-bias sulfur hexafluoride plasma etching of silicon
- Autor(en)
- Luiz Felipe Aguinsky, Frâncio Rodrigues, Georg Wachter, Michael Trupke, Ulrich Schmid, Andreas Hössinger, Josef Weinbub
- Organisation(en)
- Quantenoptik, Quantennanophysik und Quanteninformation
- Externe Organisation(en)
- Christian Doppler Forschungsgesellschaft (CDG), Technische Universität Wien, Silvaco Europe Ltd
- Journal
- Solid-State Electronics
- Band
- 191
- Anzahl der Seiten
- 8
- ISSN
- 0038-1101
- DOI
- https://doi.org/10.1016/j.sse.2022.108262
- Publikationsdatum
- 05-2022
- Peer-reviewed
- Ja
- ÖFOS 2012
- 103021 Optik, 202028 Mikroelektronik
- Schlagwörter
- ASJC Scopus Sachgebiete
- Electronic, Optical and Magnetic Materials, Condensed Matter Physics, Materials Chemistry, Electrical and Electronic Engineering
- Link zum Portal
- https://ucrisportal.univie.ac.at/de/publications/9e437d7c-6fbe-42bb-9b01-5839ac67d3cf