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Surface Damage Effects in Ultrasonic Cleaning of Silicon Wafers
- Autor(en)
- A. Nadtochiy, Artem Podolian, Oleg Korotchenkov, D. Kalinichenko, Julian Schmid, Erika Kancsar, Viktor Schlosser
- Organisation(en)
- Elektronische Materialeigenschaften
- Externe Organisation(en)
- Taras Shevchenko National University of Kyiv (KNU)
- Seiten
- 416-419
- Anzahl der Seiten
- 3
- Publikationsdatum
- 2011
- ÖFOS 2012
- 103009 Festkörperphysik
- Link zum Portal
- https://ucrisportal.univie.ac.at/de/publications/8ac54250-5f90-4267-9be0-0520ddb42b76